流量、純度的普氮和氫氮氣發生器氣同時進入裝置中，在混合器中充分混合后，進入裝有鈀觸媒除氧器裝置，在脫氧催化劑的作用下產生2H2+O2=2H2O的化學反應，達到脫氧目的。氮氣發生器脫氧后氮氣中的水氣經過冷卻器脫水，然后氮氣繼續進入干燥器干燥，使氮氣露點達-60℃左右，干燥器配置兩臺，其中一臺干燥器進行吸附干燥，另一臺把已吸附飽和水氣的干燥器進行再生，為下一周期吸附工作做好準備。經干燥后的氮氣通過過濾器除塵，后得到的便是高純氮氣。
氮氣發生器采用的材料和氣相色譜分離技術，直接從空氣中提取純氮氣。它是純物理的分離方法，消除電化學（加水）分離方式腐蝕儀器的隱患，具有使用安全、性能可靠、壽命長等優點。內置壓縮泵可連續24小時輸出氮氣,不需要從外部接入空氣，具有使用安全方便、壽命長、可靠性高、操作簡單等優點
從而使氣體發生器的性能指標、產品質量也更加參差不齊。下面僅就市場上常用的三種氣體發生器（氫氣發生器 氮氣發生器、空氣壓縮機）的結構、特點做簡單的分析